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  運動方式  

   頻率負載曲線  

  閉環(huán)曲線  

閉環(huán)傳感輸出監(jiān)測電壓與偏轉(zhuǎn)鏡輸出偏轉(zhuǎn)角度成線性關(guān)系。

  小體積、高動態(tài)、開環(huán)閉環(huán)可選  

   結(jié)構(gòu)原理  

壓電驅(qū)動俯仰/偏轉(zhuǎn)臺（快反鏡/傾斜鏡，光束偏轉(zhuǎn)，相移器）提供比音圈電機類產(chǎn)品更高的加速度及帶寬，θx軸偏轉(zhuǎn)范圍 4mrad，偏轉(zhuǎn)分辨率達0.1μrad，開環(huán)閉環(huán)可選，閉環(huán)傳感器包括應變傳感器及電容傳感器，可獲得更高的定位精度。

超小體積設計，具有非?？斓捻憫俣?，可帶載Ø15mm的鏡片實現(xiàn)0.8ms的階躍時間。

平臺由一個鉸鏈支撐，并且由一個線性壓電促動器推動。鉸鏈確定了軸心點，兼起到給壓電促動器施加預緊力的作用。單個鉸鏈單個促動器設計的優(yōu)點是結(jié)構(gòu)簡單、體積小巧、性價比高等。

如果角度偏轉(zhuǎn)時工作環(huán)境溫度變化范圍較大，推薦使用差分驅(qū)動壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 4mrad  應用  

  產(chǎn)品測試  

       • 圖像處理/穩(wěn)定  • 光束掃描   • 隔行掃描、抖動  • 光束偏擺/穩(wěn)定  • 光學、激光掃描、通信  • 光過濾/轉(zhuǎn)換  • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡