壓電物鏡掃描器的特性說明 產品特性 外形尺寸：40x48x34.5mm，結構緊湊，易于集成，靈活的螺紋轉接器，zui大螺紋接口M28； 行程為100um，分辨率為0.5nm； 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統(tǒng)，快速響應； 內置高性能的壓電陶瓷，高可靠性； 內置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇。 壓電物鏡掃描器是采用壓電陶瓷驅動的納米級壓電物鏡位移器，壓電物鏡位移器內部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，壓電物鏡位移器內置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電位移器具有的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。 |
