精密掃描臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺，壓電掃描臺中心具有通孔且體積小巧、無摩擦、分辨率高、響應(yīng)速度快，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有可靠性。產(chǎn)品主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微成像系統(tǒng)等。
精密掃描臺由容性負(fù)載驅(qū)動，可產(chǎn)生毫秒級的響應(yīng)時間，響應(yīng)速度非?？欤瑫r由于自身的材料特性，使其在使用過程中不受干擾，能夠?qū)崿F(xiàn)性能輸出。
壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)X/Z/XY/XZ/XYZ軸精密運動的壓電平臺。運動范圍大可達(dá)375μm，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有可靠性，壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
壓電納米運動系統(tǒng)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點。同時壓電效應(yīng)將電能直接轉(zhuǎn)換為運動，在靜態(tài)操作時，即使在負(fù)載情況下，也不會消耗功率。
壓電掃描臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，壓電陶瓷是高精度致動器，通過控制電壓的微小變化產(chǎn)生非常小的位移，可達(dá)到亞納米級。從適用于小型設(shè)備（如紅外熱成像）的小通孔壓電掃描臺到大型設(shè)備（如大口徑干涉儀）用的大通孔壓電掃描臺，多種規(guī)格型號可選。
