X軸大行程壓電納米定位臺
P60.X250是高精度的一維X向壓電納米定位臺，平臺采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結構，內置高性能壓電疊堆陶瓷，具有非常高的線性度，運動行程可達330μm，已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領域。
P60.X250可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器（SGS），以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實現(xiàn)非常高的線性度與重復度。同時，其抗震動的設計，非常適用于相關實驗及應用環(huán)境。
特點
• X向運動
• 行程可達330μm
• 抗振動設計
• 兩通道控制（含1路恒壓）
• 差分驅動
• 快速響應
應用
• 計量/干涉
• 納米定位
• 質量保證測試
• 精密控制
電壓位移曲線
階躍時間曲線
P60.X250S帶載200g，小幅值階躍時間可達20ms。
技術參數(shù)
運動自由度：X
行程范圍（0~120V）：±130μm
行程范圍（0~150V）：±165μm
傳感器：SGS
閉/開環(huán)分辨率：12/5nm
閉環(huán)線性度：0.1%F.S.
閉環(huán)重復定位精度：0.04%F.S.
俯仰/偏航/滾動：＜10μrad
推/拉力：300/30N
運動方向剛度：1.2 N/μm
空載諧振頻率：490Hz
閉/開環(huán)空載階躍時間：80/40ms
承載能力：0.6kg
靜電容量：24.6μF
工作溫度：-40~+80℃
抗振設計：半正弦15g，11ms
后峰鋸齒波20g，11ms
材質：鋼、鋁
重量：950g
推薦控制器
P60.X250為一維X向差分驅動定位臺，需配套兩通道（含一路恒壓）控制器，可配置芯明天四通道E70系列壓電控制器，同時驅動兩臺P60.X250，實現(xiàn)精密運動控制。
