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壓電陶瓷具有高可靠性、高分辨率、高剛度、大出力等特點(diǎn)，是精密運(yùn)動與定位的理想驅(qū)動元件。柔性鉸鏈機(jī)械結(jié)構(gòu)具有運(yùn)動平穩(wěn)、無摩擦、無空回、高精度等特點(diǎn)，適合與壓電陶瓷組成分辨率高，頻響高的精度運(yùn)動與定位系統(tǒng)。

同時柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)還可以提供適當(dāng)?shù)念A(yù)緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高系統(tǒng)的使用壽命。以下是一些壓電陶瓷驅(qū)動、柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)傳動相結(jié)合的典型例子。

高精密壓電納米定位臺

壓電納米定位臺采用壓電陶瓷驅(qū)動、柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)進(jìn)行位移放大的解決方案，可實(shí)現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運(yùn)動，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)。位移行程大可達(dá)1.1mm，分辨率可達(dá)納米級且具有不錯的可靠性。適用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。

高精密機(jī)械加工

由壓電陶瓷元件、柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和閉環(huán)傳感器組成的壓電微定位快刀伺服系統(tǒng)，利用其自身所具有的高剛度、高精度等特點(diǎn)，驅(qū)動刀具在運(yùn)動方向快速微進(jìn)給，實(shí)現(xiàn)工件或結(jié)構(gòu)的精密加工。壓電快速刀具定位臺行程可達(dá)118μm，分辨率達(dá)納米級。

高精密壓電線夾

芯明天公司根據(jù)全自動引線鍵合機(jī)的要求，設(shè)計一款壓電引線線夾，通過柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)將壓電陶瓷的位移放大，使其能夠夾持金線進(jìn)行自由穿行移動。該線夾位移可達(dá)70μm，響應(yīng)時間在毫秒量級。